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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200
雅馬拓產品報價:0.00

適用于研究開發的小型等離子清洗機。

■操作性·功能 
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型,發生器自動匹配,無需調節反射波,進一步增加的操作的便捷性。 
●標準配備數字式皮拉尼傳感器,實時顯示真空度,使得控制更為精確。 
●平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品,無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。 
■ 
●裝載有溫度、壓力、等離子發生器異常等三層報警燈,可實時監測和了解機器的運轉狀態。 
●裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等 功能。 
■產品優勢 
●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大, 
●對清洗樣品,沒有任何材質、外觀尺寸等要求。 
●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。 
屬性 參數
型號 PDC200
等離子模式 RIE( DP模式選配)
電極構造 平行平板(固定)
高頻輸出 Max300W
頻率 13.56MHz
控制?顯示 液晶觸摸屏
反應室尺寸 W400 x D250 x H150mm
電極尺寸 W250xD170mm
反應室材質
反應氣體 2系統(Ar、O2)
填充氣體 N2或干燥空氣
反應氣體流量控制 流量計
真空泵 另行選配
氣體導入口 反應氣體2個、填充氣體1個
外形尺寸 W540 x D600 x H600mm
重量 約 100kg
電源 單相 AC100V10A

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